1.准备材料：按照上述要求准备齐全的申请材料。

2.提交申请：向所在地省级以上人民政府宗教事务部门提交申请，并填写互联网宗教信息服务申请表。

3.材料审核：宗教事务部门对提交的材料进行审查，核实相关信息的真实性和完整性。

4.现场核查（如需要）：根据实际情况，宗教事务部门可能会对申请人的场所、设施等进行现场核查。

5.审批决定：在材料齐全、符合法定条件的情况下，宗教事务部门将在20个工作日内作出批准或不予批准的决定。

6.颁发许可证：对于批准的申请，宗教事务部门将颁发《互联网宗教信息服务许可证》。