CMMI5级认证的评审流程主要包括以下几个阶段：

1. 前期准备

    - 理解模型与获得支持：企业要深入理解CMMI5级模型的要求，高层管理团队需承诺支持认证工作，提供资金、人力和时间等资源。

    - 选择咨询公司：多数企业会选择专业的CMMI咨询公司，帮助理解模型并做准备工作。

    - 进行内部评估与差距分析：企业自我评估现有开发和管理过程，与CMMI5级要求对比，识别差距，明确改进领域。

    - 定义过程与支持工具：根据要求定义并记录标准化工作流程，部署和优化支持CMMI流程的工具和系统，如项目管理、质量管理、配置管理工具等。

    - 建立量化管理体系与培训员工：建立量化管理体系，用统计和数据分析工具监控改进流程；为管理层和相关员工提供CMMI及特定技能培训，如统计过程控制、项目管理、质量控制等。

    - 试点项目与内部审计：选择一到多个项目作为试点，全面实施CMMI5级要求，测试新流程和工具的有效性；在正式评估前进行内部审计，确保流程和工具达到要求。

    - 整理文档与选择评估机构：准备和整理流程文档、项目记录、质量管理记录等必要文档；选择经过授权的CMMI评估机构，安排正式评估时间。

2. 预评估（可选）

    - 判定准备情况：通过一位主任评估师指导进行，初步了解项目的成熟度，按照CMMI相关级别的KPA识别明显缺陷并推荐纠正措施，以便更好进行正式评估。

    - 选择参与项目：从公司全体项目中挑选出参与正式评估的项目，评估师会考核公司背景、项目角色覆盖范围等，核实参与项目覆盖与所申请级别是否一致。

3. 正式评估

    - 制定评估计划：评估师与企业共同制定计划，明确访谈对象、审查项目及时间安排等。

    - 启动会议：公司高层、评估小组和参评方三方相关人员参与，介绍评估日程并达成一致。

    - 文档审查：评估师查阅过程、项目书面文档，所有参评文档需书面打印并装订成册。

    - 面谈及讨论：评估师与项目中的项目经理、需求人员、设计人员、测试人员等每个角色进行面谈，验证实践落地情况。

    - 评估小组总结：评估小组对文审、面谈中的数据进行综合与分析，生成评估结果。

    - 总结及末次会议：评估完成后，评估小组给出最终结论，告知评估是否通过，若不通过则指出改进建议。

4. 等待官方审计与发布结果

    - 提交评估信息：评估完成后，主任评估师将整理打包好所有评估的工作产出，通过评估系统提交给官方进行审查。

    - 公布结果：官方审查通过后，将以邮件形式通知主任评估师和企业的评估发起人，并在全球过级企业名单网址上公布企业过级信息。

5. 持续改进与周期性复审

    - 持续监控和改进：获得认证后，企业仍需持续监控和改进流程，确保保持和提升过程能力。

    - 周期性复审：CMMI认证不是永久的，通常每隔三年企业需要重新评估以保持认证的有效性。